【招标公告】【2506017004】高通量ALD/PVD等工艺数据采集设备集群采购项目招标公告

日期：2026年9月4日 项目编号：2506017004 一、招标条件 本招标项目已由相关单位批准，项目资金来源为项目资金及自筹资金，招标人 为上海集成电路材料研究院有限公司。本项目已具备招标条件，招标方式为公 开招标。 二、项目概况和招标范围 规模：

	序 货物 号 名称	简要技术规格	数 量 及 单 位	交 货 期	交货 及安 装地 点
1	高通 量ALD /PVD 等工 艺数 据采 集设 备集 群	包含真空腔体，真空度数据采集和真空控制系统，加 热及温度数据采集和控制系统、前驱体输送控制和温 度数据采集系统，气体输送、气体流量数据采集、气 体压力数据采集系统。	1 套	2 0 2 6 . 1 0 . 3 0	上海 市浦 东新 区云 水路 1000 号29 号楼

本次招标的最高投标限价为405万元人民币（含税）。 范围：本招标项目划分为1个标段/包件，本次招标为其中的： 高通量ALD/PVD等工艺数据采集设备集群采购项目 三、投标人资格要求 （1） 在中华人民共和国境内（不包括香港、澳门及台湾地区）登记成立 的法人或者法人的分支机构； （2） 法人的分支机构以自己的名义参与投标时，应提供依法登记的相关 证明材料和由法人出具的对该投标活动承担全部直接责任的明确承 诺； （3） 投标人当前未被信用中国（http://www.creditchina.gov.cn）列 入“失信被执行人、重大税收违法失信主体、政府采购严重违法失 信行为记录名单”，以三张页面查询结果截图为准； （4）本项目不允许联合体投标。 四、招标文件的获取 获取时间：从2026年9月4日9时到2026年9月11日16时（北京时间） 获取方式：在上海国际招标有限公司网站（www.shabidding.com）在线领购招 标文件。招标文件每套售价200元，售后不退。潜在投标人首次使用该网站需 进行免费注册，注册时应按要求提供《供应商注册专用授权函和承诺书》（可 从供应商注册页面下载）和营业执照等扫描件，供应商应当提前准备，尽早办 理，以免影响领购招标文件。已注册的潜在投标人可从网站采购公告栏的相应 公告中进入在线领购招标文件流程。潜在投标人提交领购申请并支付费用到账 后即可下载电子招标文件。招标代理机构会将纸质招标文件快递给潜在投标人 ，电子发票将发至投标人登记的邮箱。未按规定获取招标文件的潜在投标人将 被拒绝参加投标。 五、投标文件的递交 递交截止时间：2026年9月28日9时30分（北京时间） 递交方式：投标人应在投标截止时间之前按上海国际招标有限公司电子采购平 台（从www.shabidding.com网站上方“SITC电子采购平台”进入）的操作规程 对其投标文件进行加密后上传至电子采购平台。 六、开标时间及地点 开标时间：2026年9月28日9时30分（北京时间） 开标地点：开标在电子采购平台进行，所有投标人应按时登录电子采购平台参 加开标并在规定时间内对投标文件进行解密。 七、监督部门 本招标项目的监督部门为上海集成电路材料研究院有限公司。 八、联系方式 招标人：上海集成电路材料研究院有限公司 地 址：_上海市嘉定区皇庆路333号1号楼10楼_______________________ 联系人：_***___________ 电 话：_***__________ 电子邮件：_caihong.lu@sicm.com.cn____________________ 招标代理机构：上海国际招标有限公司（盖章） 地 址：中国上海延安西路358号美丽园大厦14楼 联系人：*** 电话：*** 电子邮件：baoqi@shabidding.com、wangjin@shabidding.com、sujiefei@sha bidding.com