【招标信用】上海微电子中标1.1亿元光刻机项目
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基本信息
| 地区 | 上海 上海市 | 采购单位 | 科学技术部 |
| 招标代理机构 | 项目名称 | 采购步进扫描式光刻机项目 | |
| 采购联系人 | *** | 采购电话 | *** |
上海微电子中标1.1亿元光刻机项目
12月25日，据中国政府采购网公示，上海微电子装备（集团）股份有限公司（简称：上海微电子）中标zycgr22011903采购步进扫描式光刻机项目，设备数量为一台，成交金额1.1亿元。
公告显示，中标供应商名称为上海微电子装备（集团）股份有限公司，供应商地址为上海市张江高科技园区张东路1525号。中标货物名称为步进扫描式光刻机，货物型号为SSC800/10。
据此前公告，招标方为科学技术部。企查查信息显示，上海微电子成立于2002年，经营范围包含：半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务等，由上海电气控股集团有限公司、张江高科全资子公司上海张江浩成创业投资有限公司等共同持股。
据了解，步进扫描光刻是一种混合光刻技术，结合了扫描投影光刻和分步重复光刻的优势。该技术通过动态扫描方式同步移动掩膜版和晶圆，标准曝光尺寸为26 mm×33 mm，可增大曝光场并一次曝光多个芯片，其具备整个扫描过程的实时聚焦调节能力，适用于0.25μm以下的制造工艺，尤其在0.18μm节点及更先进工艺中广泛应用。
*免责声明：以上资讯均来自公开渠道，如有异议请联系集成电路材料创新联合体，我们将在第一时间进行处理。
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12月25日，据中国政府采购网公示，上海微电子装备（集团）股份有限公司（简称：上海微电子）中标zycgr22011903采购步进扫描式光刻机项目，设备数量为一台，成交金额1.1亿元。
公告显示，中标供应商名称为上海微电子装备（集团）股份有限公司，供应商地址为上海市张江高科技园区张东路1525号。中标货物名称为步进扫描式光刻机，货物型号为SSC800/10。
据此前公告，招标方为科学技术部。企查查信息显示，上海微电子成立于2002年，经营范围包含：半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务等，由上海电气控股集团有限公司、张江高科全资子公司上海张江浩成创业投资有限公司等共同持股。
据了解，步进扫描光刻是一种混合光刻技术，结合了扫描投影光刻和分步重复光刻的优势。该技术通过动态扫描方式同步移动掩膜版和晶圆，标准曝光尺寸为26 mm×33 mm，可增大曝光场并一次曝光多个芯片，其具备整个扫描过程的实时聚焦调节能力，适用于0.25μm以下的制造工艺，尤其在0.18μm节点及更先进工艺中广泛应用。
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