【招标公告】[招设2024A00179]上海交通大学原子层沉积设备采购项目公开招标公告

上海交通大学原子层沉积设备采购项目公开招标公告 项目概况 设备用途：原子层沉积设备因其精确控制薄膜厚度、良好的三维覆盖能力、优异的保形性和 均匀性等特点，用以在半导体工艺中以足够的效率沉积纳米尺度的高质量氧化物和氮化物。 一、项目基本情况 项目编号：招设 2024A00179 （招标代理内部编号：招案 2024-4532）项目名称：上海交通大学原子层沉积设备采购项目 预算金额：人民币 440.0 万元 （大写：人民币肆佰肆拾万元整） 最高限价：人民币 440.0 万元 （大写：人民币肆佰肆拾万元整） 采购需求：

序 号	货物名 称	数 量	简要技术规格	项目完成时间	交货地点
1	原子层 沉积设 备	1 套	1.主要技术指标 ★1）可兼容 8 英寸及以下基片，可用于 SiO2、Al2O3 等氧化物和 TiN 等氮化 物薄膜沉积。 ▲2）片内膜厚均匀性≤2%，片间膜厚 均匀性≤1% 具体内容详见招标文件第三部分—采购 需求	合同签订后 6 个月内完成所 有设备的到货 及安装调试验 收合格	上海交通 大学用户 指定地点

合同履行期限：合同签订后 6 个月内完成所有设备的到货及安装调试验收合格。 本项目( 不接受)联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求：本次招标若符合政府强制采购节能产品、鼓励环保 产品、扶持福利企业、促进残疾人就业、促进中小企业发展、支持监狱和戒毒企业等政策， 将落实相关政策。 3.本项目的特定资格要求： 1）未被“信用中国”（www.creditchina.gov.cn）、中国政府采购网 （www.ccgp.gov.cn）列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违 法失信行为记录名单； 2）本项目非专门面向中小企业采购。 三、获取招标文件 时间：2024 年 11 月 20 日至 2024 年 11 月 27 日，每天上午 9 时至 11 时，下午 13 时至 16 时（北京时间，法定节假日除外） 地点：上海市普陀区曹杨路 528 弄 35 号中世办公楼 5 楼或微信公众号 方式：现场或微信公众号领取 售价：人民币 500 元/本 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间：2024 年 12 月 11 日 10 时 00 分（北京时间）开标时间：2024 年 12 月 11 日 10 时 00 分（北京时间） 地点：上海市曹杨路 528 弄 35 号(中世办公楼) 会议室(详见当天二楼大屏) 五、公告期限 自本公告发布之日起 5 个工作日。 六、其他补充事宜 1、获取招标文件需提交的资料： 1） 法定代表人证明书或法定代表人授权委托书； 2） 被授权人身份证（或复印件加盖公章）。 注：供应商携带上述资料，在上述时间段内至代理公司进行现场或关注“中世建咨"微信公众 号领取招标文件，供应商关注“中世建咨”微信公众号，主界面右下角点击“领取文件”， 按提示领取并下载采购文件，逾期不再办理。 2、同时发布本次招标公告的媒体名称：中国政府采购网、上海交通大学数字化采购平台；3、信息若有变更我们会通过以上媒体通知，请供应商关注； 4、请在报名成功后登录上海交通大学招投标与政府采购办公室网站完成注册并实名认证，网 址：http://pboffice.sjtu.edu.cn 。网站电话：4001010335。 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：上海交通大学 地址：上海市东川路 800 号 联系方式：招采办联系人：*** 电话：*** 技术联系人：李老师 电话：021-34206687 2.采购代理机构信息 名 称：上海中世建设咨询有限公司 地 址：上海市普陀区曹杨路 528 弄 35 号（中世办公楼）联系方式：沈思骏、陈沁雯、陈奕远/ 021-52555817 3.项目联系方式 项目联系人：沈思骏、陈沁雯、陈奕远 电 话：021-52555817